LMX2E直线电机
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> 特征与应用
特征：
直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大
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- > 特征与应用特征：直线度可达10umX轴最大6m Y轴0.5m行程以线性滑轨架构之定位平台良好接地设计防止噪声干扰Z向震动可达奈米等级以下最大速度可达5m/s标准重现精度1um或以下位置回馈系统分辨率最低可达50nm应用：半导体设备自动化搬送FPD设备太阳能制造设备PCB设备水刀设备钻石切割产业AOI检测设备工具机
津公网安备 1201040200132号 工信部备案：